Năm 1876, tỉnh Biên Hòa bị Pháp giải thể và biến thành 3 tiểu khu, còn gọi là hạt tham biện (arrondissement): Biên Hòa, Thủ Dầu Một và Bà Rịa.

Từ ngày 1 tháng 1 năm 1900 hạt tham biện Biên Hòa trở thành tỉnh theo Nghị định ngày 20 tháng 12 năm 1899 của Toàn quyền Đông Dương đổi tên tất cả các hạt tham biện thành tỉnh. Thời kỳ này, địa giới tỉnh Biên Hòa bao gồm tỉnh Đồng Nai, một phần các tỉnh Bình Phước và Bình Dương hiện tại. Năm 1939, tỉnh Biên Hòa có 5 quận: Châu Thành, Long Thành, Xuân Lộc, Tân Uyên, Núi Bà Rá.

Danh sách Chủ tỉnh Pháp ở Biên Hòa - Đồng Nai: 1861 - 1945 (chưa hoàn chỉnh, sẽ bổ sung sau)

1. Domenech Diego: 1861 - 1862

2. Loubère: 1862 - 1866

3. Charlier: 1866

4. Garrido: 1866

5. Philastre: 1866 - 1868

6. Labellevière: 1868 - 1869

7. Chatellier: 1869

8. Paulinier: 1869

9. Salicéti: 1869 - 1870

10. Paulinier: 1870 - 1872

11. Hector: 1873 - 1874

12. Fauvelie: 1874 - 1875

13. de Labarthete: 1875 - 1876

14. Moty: 1876 - 1879

15. Bataille: 1880 - 1883

16. Gailland: 1883 - 1887

17. de Barbe: 1888 - 1891

18. Alphonse Chesne: 1897, 1903 - 1906

19. Gaston Máspero: 1907 - 1910

20. Victor Helgoual'ch: 1910 - 1912

21. Jean Krautheimer: 1912 - 1914

22. Jules N. Thiebaut; 1926 - 1927

23. Pierre Marty: 1928 - 1932

24. Bolens: 1936

25. Maurice Larivière: 1939 - 1943

26. Nguyễn Văn Quý: 1945

27. Velisarios: 1945 - 1947

28. Le Garreres: 1947

29. Dominique: 1947 - 1948

30. Giorges: 1948 - 1949

31. Juliens: 1949 - 1950

32. Huỳnh Văn Đẩu: 1950 - 1952

33. Henry Bùi Quang Ân: 1952 - 1953

34. Nguyễn Hữu Hậu: 1953 - 1954

35. Hồ Bảo Thành: 1961 - 1962

36. Nguyễn Văn Đỉnh

37. Nguyễn Thúc Lang: 1955 - 1957 (?)

38. Hoàng Mạnh Thường: 1961 - 1962

39. Trần Văn Đĩnh

40. Phạm Văn Tân

41. Mã Sanh Nhơn: 1963 - 1965

42. Trần Văn Hai: 1965 - 1967

43. Lâm Quang Chính: 1967 - 1970

44. Lưu Yễm: 1970 - 1975